クリーンルーム
半導体・精密回路部品や医薬品はほとんどがクリーンルーム中で作られています。また病院の無菌室もクリーンルームです。なぜクリーンルームが必要かと言えば、金属粉塵が舞う環境下で電気回路の微細な加工をすると回路はショートしますし、カビや細菌が浮遊する環境下で医薬品食品の加工や包装をすると異物混入や腐敗の原因となります。この問題を解決するために空調ラインに高性能エアフィルターを設置して粉塵や雑菌のないルームを作っているのです。エアフィルターはクリーンルーム実現の基幹部品として多くの場所に用いられています。
電子部品クリーンルームの例
HEPA付吹出口
01.HEPAフィルター
| 効率 | 0.3μm粒子に対して99.97%以上 |
|---|---|
| 例 | 多風量型HEPAフィルター、多風量薄型HEPAフィルターなど |
排気口
02.排気フィルター 脱臭・有害ガス除去
| 例 | 活性炭フィルターなど |
|---|
空調機
03.中性能フィルター
| 効率 | 光散乱積算法にて60～95％ |
|---|---|
| 例 | YKHフィルター、YKSフィルター、YKMPフィルターなど |
04.粗塵用フィルター
| 効率 | 質量法にて20～82％ |
|---|---|
| 例 | アルミ枠付RF600フィルター、アルミ枠付き不織布プリーツフィルターなど |
外気取込口
05.粗塵用フィルター
| 効率 | 質量法にて20〜82％ |
|---|---|
| 例 | アルミ枠付RF600フィルター、アルミ枠付き不織布プリーツフィルターなど |
06.中性能フィルター
| 効率 | 光散乱積算法にて60～95％ |
|---|---|
| 例 | YKHフィルター、YKSフィルター、YKMPフィルターなど |
クリーンルームクラス
クラス100、クラス1000、クラス10000とは
アメリカ連邦規格による区分です。クラス100とは0.5ミクロン以上粒子が空間に浮遊する数が1ft3（立方フィート）中に100個以下、クラス1,000は1,000個以下、クラス10,000は10,000個以下のことを言います。ただし、現在ではJIS B9920やISO14644-1によるクラス分けが主となりつつあります。JISやISOの区分ではそれぞれをクラス5，6，7と呼びます。
エアーフィルターの交換周期
場所や環境で周期は異なります。
| フィルター名 | 交換周期 |
|---|---|
| 粗塵用フィルター | 差圧値が新品時の2倍になれば洗浄や清掃をしてください。概ね3ヶ月~6ケ月程度 |
| 中性能フィルター | 差圧値が新品時の2倍になれば交換してください。概ね1年~3年程度 |
| HEPAフィルター | 差圧値が新品時の2倍になれば交換してください。概ね2年~5年程度 |